Simão,
Algumas vezes as coisas não são muito simples de se fazer, especialmente quando se quer uma determinada rotina como a de um escaneamento por exemplo...
Estudando um pouco como o Mach3 interpreta certos comandos, poderemos ver que há dois comandos básicos e que talvez funcione para voce...
Experimente usar os comandos:
M40
G31 X10 F30
G31 X10 F30
M41
M30
Esta série de comandos deveria criar um arquivo de um perfil que está em baixo do eixo X, e este arquivo seria de zero a 10mm separados por espaço de 1mm com as coordenadas de Z nele...