Eu não sei se vai ter alguma coisa especificamente pronta para o que voce precisa.
Que eu me lembre, os Fanuc precisam ter liberadas funções (ou macros) 9000, alguma coisa assim...
Falando em macros, não sei quais são as macros que o Fanuc usa para probe - algo como M136... Sei que as variáveis de sistema onde se armazenam dados de posição dos eixos são algo como #5601 a #5609, sendo que #5601=X, #5602=Y etc, mas é bom ver nos manuais Fanuc...
falo isso porque nunca operei Fanuc, ainda mais os modernos...